yczhao 发表于 2012-3-1 14:04:22

请教一个CCP等离子体一维模型仿真问题

COMSOL官网上下了一个CCP一维的等离子模型，GEC CCP Reactor, Argon Chemistry, 1D
现在想自己仿一个同样的模型，不过把频率从13.56MHz变为2.45GHz，线段的尺寸从0.0245m变为0.0002m。
现在出现了问题，仿真出来的图形都只有参考文献中给的图的一段。比如说电子密度的图形应该是一个山峰形，但结果只有一半
请问两个问题：
1、study 1中 time dependent中的stop time和step time 的设置有什么原则？出现的问题是不是和这个设置有关？
2、是不是出现的问题和导入的Ar_xsecs.txt文件有关？

erwing118 发表于 2012-3-2 10:41:43

可能与stop time有关，这个会决定求解终止的时间

yczhao 发表于 2012-3-7 19:48:03

erwing118 发表于 2012-3-2 10:41 static/image/common/back.gif
可能与stop time有关，这个会决定求解终止的时间

请问那应该怎么设置呢？

zyc1000 发表于 2012-3-8 10:04:32

你可以看看comsol4.2帮助文档的plasma模块的MWP里面的I你啦呢Microwave Plasma这个例子，应该符合你的要求的。祝好运！

jyl0801 发表于 2018-1-16 18:00:01

请问有谁知道将楼主的模型直接修改成一维ICP模型的方式吗？我们教授说在左边添加一个电场好像就行了，请问怎么添加电场呢？
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