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kyan2022 发表于 2022-10-13 09:20:24

集成微透镜阵列的CMOS传感器分析

1. 摘要

在最近的几十年里，COMS传感器的像素尺寸由最初大于10um以发展至2um，甚至更小。通过减小像素尺寸以获得更高的空间分辨率。与此同时，这也为覆盖在每个像素上的微透镜的功能带来了疑问。在此示例中，我们研究了像素大小等于或小于2um CMOS传感器的性能。 并在仿真分析中采用严格的FMM / RCWA以检测微透镜的有效性。

2. 建模任务

http://www.infotek.com.cn/uploads/allimg/210208/1-21020Q0511Y46.png
采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)


http://www.infotek.com.cn/uploads/allimg/210208/1-21020Q05200912.png
采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)


3. 2 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真)

http://www.infotek.com.cn/uploads/allimg/210208/1-21020Q0525M26.png

4. 1.8 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真)

http://www.infotek.com.cn/uploads/allimg/210208/1-21020Q053253Q.png

5. 1.6 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真)

http://www.infotek.com.cn/uploads/allimg/210208/1-21020Q05355137.png

6. 3D仿真与结果对比

http://www.infotek.com.cn/uploads/allimg/210208/1-21020Q0541E27.png

7. 走进VirtualLab Fusion

http://www.infotek.com.cn/uploads/allimg/210208/1-21020Q0543G47.png

8. VirtualLab Fusion的工作流程

 构造光栅结构
- Configuration of Grating Structures by Using Interfaces [应用案例]
- Configuration of Grating Structures by Using Special Media. [应用案例]
 计算光栅结构内部的场分布

http://www.infotek.com.cn/uploads/allimg/210208/1-21020Q0551BY.png


9. VirtualLab Fusion技术


http://www.infotek.com.cn/uploads/allimg/210208/1-21020Q0555a36.png

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