kyan2022 发表于 2022-12-19 13:01:07

菲索光学测试干涉仪

摘 要

斐索干涉仪是工业中常见的光学计量设备,它们通常用于光学表面质量的高精度测试。 借助VirtualLab Fusion中的非顺序追迹,我们构建了一个菲索干涉仪,并利用它测试了不同的光学表面,例如圆柱形和球形。 可以看出,产生的干涉条纹对表面轮廓具有敏感性。

http://www.infotek.com.cn/uploads/allimg/190528/1-1Z52Q0460U39.png
建模任务

http://www.infotek.com.cn/uploads/allimg/190528/1-1Z52Q04632948.png

倾斜平面下的观测条纹

http://www.infotek.com.cn/uploads/allimg/190528/1-1Z52Q04AIK.png

圆柱面下的观测条纹

http://www.infotek.com.cn/uploads/allimg/190528/1-1Z52Q04H0113.png

球面下的观测条纹

http://www.infotek.com.cn/uploads/allimg/190528/1-1Z52Q04J42T.png

VirtualLab Fusion 视窗

http://www.infotek.com.cn/uploads/allimg/190528/1-1Z52Q04P92a.png

VirtualLab Fusion 流程

http://www.infotek.com.cn/uploads/allimg/190528/1-1Z52Q04TG06.png

VirtualLab Fusion 技术

http://www.infotek.com.cn/uploads/allimg/190528/1-1Z52Q04Z9364.png


页: [1]
查看完整版本: 菲索光学测试干涉仪