memszbz 发表于 2005-6-8 09:05:37

MEMS简介

MEMS(Micro Electromechanical System，即微电子机械系统)是指集微型传感器、执行器以及信号处理和控制电路、接口电路、通信和电源于一体的微型机电系统。概括起来，MEMS具有以下几个基本特点，微型化、智能化、多功能、高集成度和适于大批量生产。
    MEMS技术的目标是通过系统的微型化、集成化来探索具有新原理、新功能的元件和系统。MEMS技术是一种典型的多学科交叉的前沿性研究领域，几乎涉及到自然及工程科学的所有领域，如电子技术、机械技术、物理学、化学、生物医学、材料科学、能源科学等。其研究内容一般可以归纳为以下三个基本方面：
1．理论基础：
    在当前MEMS所能达到的尺度下，宏观世界基本的物理规律仍然起作用，但由于尺寸缩小带来的影响（Scaling Effects），许多物理现象与宏观世界有很大区别，因此许多原来的理论基础都会发生变化，如力的尺寸效应、微结构的表面效应、微观摩擦机理等，因此有必要对微动力学、微流体力学、微热力学、微摩擦学、微光学和微结构学进行深入的研究。这一方面的研究虽然受到重视，但难度较大，往往需要多学科的学者进行基础研究。
2．技术基础：
    MEMS的技术基础可以分为以下几个方面：（1）设计与仿真技术；（2）材料与加工技术（3）封装与装配技术；（4）测量与测试技术；（5）集成与系统技术等。
3．应用研究：
    人们不仅要开发各种制造MEMS的技术，更重要的是如何将MEMS技术与航空航天、信息通信、生物化学、医疗、自动控制、消费电子以及兵器等应用领域相结合，制作出符合各领域要求的微传感器、微执行器、微结构等MEMS器件与系统。

hanktang 发表于 2005-7-5 22:30:24

Re:MEMS简介

我的氟碳表面改性涂层材料可以用于MEMS,无论从摩擦角度,还是表面角度,都可以的.我曾为上海某大学解决过微模具DEM模压脱模难的问题的.具体资料请看WWW.FTJFT.COM里的氟碳资料,也可和我联系.谢谢

heusxg 发表于 2006-9-14 20:58:52

专业微电子，微机电仿真论坛

http://www.iccae.com

pxdpxd 发表于 2009-5-20 14:55:54

新手，学习中。

news 发表于 2011-3-5 14:04:25

谢谢,了解一下先

tomance 发表于 2011-5-19 08:32:16

学习中。感觉国内mems发展还是相对较晚，技术还不是很成熟。
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