谁做过CVD(化学气相沉积)中等离子体的仿真？进来指导下，谢谢

conhaifeng · 发表于 2012-11-14 21:01:37

谁做过CVD(化学气相沉积)中等离子体的仿真，小弟是新手，刚接触这个领域，如何进行？谢谢了。

sanjc · 发表于 2012-11-18 14:17:52

是CVD還是PECVD呢?
CVD是利用熱來做化學沉積
PECVD則是用等離子來做

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[17. 等离子体] 谁做过CVD(化学气相沉积)中等离子体的仿真？进来指导下，谢谢