FEMAG/PVT的优点

stephen2484

      该软件可分析sic、ALN、ZnO等晶体的PVT法生长，为热场设计、炉体组件优化、工艺质量分析等提供可靠的解决方案，在半导体、太阳能光伏等领域具有广泛的应用。
     主要功能及特色：
     ①支持半透明辐射传热
     ②支持感应加热分析
     ③准确的气体流动计算模型
     ④支持多种气体进、出口模式设置
     ⑤支持不同宏单元之间的传热系数的计算
     该软件可以全面分析PVT生长过程中涉及的温度、生长速率、气体流动以及热应力等问题，特别是可以用于模拟sic晶体的pvt法生长过程。