cadabaqus 发表于 2004-1-14 08:49:31

【讨论】用ansys对mems静电梳齿驱动器进行分析，为何最大变形与梳齿间距成反比？

用ansys对mems静电梳齿驱动器进行分析，为何最大变形与梳齿间距成反比？

hfut_wafer 发表于 2007-4-18 23:57:24

梳齿间距变小时，动齿和对应定齿的根部会产生新的电容，此时的梳齿所受静电力与位移之间不再是线性的了，会出现非线性效应，和pull-in效应很类似。不知道你的驱动器是横向工作还是垂直工作？
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