jiangyang800 发表于 2010-8-16 11:39:23

光刻中透镜受光照射的热温度场

本帖最后由 jiangyang800 于 2010-8-16 11:41 编辑

直径约有300mm的透镜，受193nm的均匀光照射全透镜，光能量密度约为160mj/cm2，已知吸收系数为0.005/cm，上下表面初始温度与空气对流系数已知，辐射系数已知，求透镜的三维温度场。
1请问这个吸收系数怎么设置？材料属性里边没有这个参数啊。
2要分析这种情况还需要什么参数吗？
我是新手~请各位不吝赐教~
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