检查微型晶片的光学系统

kyan2022

成像系统>包括光栅

任务/系统说明



亮点



 在复杂光学系统中，包含光栅（如，非常大的数值孔径(NA)）
 严格分析光栅衍射效率
 考虑入射光的方向分布

说明：光源



说明：光束分束器



说明：检测透镜系统



说明：微型晶片



说明：检测物镜



说明：探测器



结果：3D光线追迹（只有0级）



结果：3D光线追迹（所有级）



结果：光线追迹



结果：场追迹



结果：线性偏振光的场追迹



文档和技术信息