JCMsuite应用：孤立线栅

kyan2022

这是一个一维孤立线光栅的简单案例。设置与周期线光栅的案例相同，但代替周期性排列的线，现在使用单线。因此，二维计算域不再采用水平方向上的周期性边界条件，而是采用水平和垂直方向上的透明边界。



光栅被斜入射S和P偏振平面波照亮。JCMsuite计算近场分布。下图显示了当波长为193nm时，平面波从衬底侧垂直入射到结构内的近场强度


S偏振光照明的近场强度


P偏振光照明的近场强度

后处理傅里叶变换计算散射场在上半空间的傅里叶变换。

在实验中，远场通常由成像的光学装置来收集。后处理光学成像允许描述一个通用光学成像系统。我们通过一个没有像差的简单2X放大工具来演示这一点。

PostProcess {
  OpticalImaging {
  InputFileName = "project_results/transmitted_fourier_transform.jcm"
  OutputFileName = "project_results/image_fourier_transform.jcm"
  OpticalSystem {
    SpotMagnification = 2.0
  }
}

输出文件fourier_transform_image.jcm包含经过光学系统后的场的傅里叶变换。可以使用笛卡尔输出后处理来计算相干图像。下图显示了不同z方向切片的图像(图像平面沿z方向放置)，用于S偏振照明。


线光栅通过光学系统后的相干图像(s偏振入射平面波)


线光栅通过光学系统后的相干图像(p偏振入射平面波)