基于干涉的光学测试系统

kyan2022

​为了对结构表面进行高精度检查（通常用于半导体行业），可以使用基于干涉效应的光学测试系统。对这些设置的完整模拟需要包括所有物理光学效应，如结构处的衍射、相干性以及在图像平面上产生的干涉。为了帮助光学工程师完成这项任务，快速物理光学软件VirtualLab Fusion提供了一系列工具，包括系统中的衍射和非序列建模。

随着新版本2023.1的发布，我们还提供了一种新的探测器概念，允许用户直接根据场信息计算可能感兴趣的任何物理量。为了了解所有这些工具的是如何工作的，我们展示了以下两个示例。在第一个例子中，使用高NA物镜检查非对称微结构晶片，而在第二个例子中我们使用不同形状的测试表面显示了来自经典斐索干涉仪的辐照度图案。

用于微结构晶片检测的光学系统



该用例显示了高NA晶片检测系统的快速物理光学模拟，该系统通常用于半导体工业中检测晶片上的缺陷。

光学检测用的斐索干涉仪


借助非连续场追迹技术建立了斐索干涉仪，并显示了来自几个不同测试表面的干涉条纹。