Mahr和Zygo表面粗糙度的结果相差非常大~

chenyujie711 · 发表于 2010-12-7 00:59:54

用便携式Mahr轮廓仪测得和用Zygo 7100 Series 测得的表面粗粗度差的很多。分析了一下Zygo实测的一指定面积上的粗糙度，Mahr是测的一条直线上的粗糙度。不过有细微差别是可以接受的，现在差的非常大（附件）~ 会不会是因为Mahr轮廓仪或者Zygo的截至长度的影响？请教高手原因~
PS Mahr刚刚矫正过没问题~

Zygo 3.5，而mahr测得0.7

wwwhebut · 发表于 2011-2-10 12:58:55

两者测量的是否为同一参数Ra或Rz；多测量几个点，看结果是否有变化

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