请问在comsol中用哪些模块能够完成等离子体刻蚀仿真？

mysu · 发表于 2013-2-20 11:29:22

如题，请求帮助。

Javy · 发表于 2013-2-21 10:11:56

这个应该涉及到传热、等离子体吧；

mysu · 发表于 2013-2-21 13:08:46

是否应该用到化学反应模块？

zyc1000 · 发表于 2013-2-26 16:39:43

mysu 发表于 2013-2-21 13:08
是否应该用到化学反应模块？

等离子体模块内有化学反应的

风居住的街 · 发表于 2016-2-27 17:29:42

还有粒子追踪模块吧

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[17. 等离子体] 请问在comsol中用哪些模块能够完成等离子体刻蚀仿真？