压膜阻尼仿真

bgsmg

我在做一个MEMS电容压力传感器的仿真，电容两极板间的空气阻尼怎么仿真。

kinggun

MEMS模块里面有一个专门的Film Damping接口（应用模式）。案例库：MEMS>Sensor Models>squeezed film accelerometer。

bgsmg

kinggun 发表于 2013-4-23 20:41
MEMS模块里面有一个专门的Film Damping接口（应用模式）。案例库：MEMS>Sensor Models>squeezed film accel ...

谢谢你的回复，这个例子我看过了，也照着仿真，但是我看过ansys里面的仿真，希望施加的载荷是速度，就是让薄膜正弦运动，然后计算阻尼力。还有就是这个例子计算的阻尼力和两极板之间的距离无关的吧？

bgsmg

kinggun 发表于 2013-4-23 20:41
MEMS模块里面有一个专门的Film Damping接口（应用模式）。案例库：MEMS>Sensor Models>squeezed film accel ...

关于那里例子的视频我也看过好几遍了，我希望改成压力传感器的样子，不是加速度，施加不是加速度载荷。我仿照那个例子做的时候，发现我的曲线不想视频那么平滑，是类似折线的。