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[问题讨论] 压阻材料仿真如何建模

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lijiawei8799
发表于 2013-5-13 21:47:15 | 显示全部楼层 |阅读模式 来自 北京
如何进行压阻材料的建模，主要是压阻式压力传感器的分析，主要结构就是在硅片上刻蚀出空腔，形成膜片结构，然后在膜片上掺杂形成电阻，请问建模时候如何实现？
结构如图：

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