石英微振器热敏性的多物理场有限元建模 samcef

samtech2012

论文题目为Multiphysical Finite Element Modeling of a Quartz Micro-Resonator Thermal Sensitivity

     本案例分析了一种长条型的石英微振器，主要用于硅MENS谐振器。案例论文主要介绍了如何实现谐振器的低热敏性。热敏性的计算基于有限元软件Samcef及Oofelie，利用这两个软件的联合能够计算出谐振器的机热耦合及压电特性。