机电耦合—梳齿静电驱动

黄锦阳

梁+空气层，重叠在一块儿。梁和空气层尺寸一致，XYZ 为150μm，4μm，2μm。
梁施加电压10V, 双端固定，空气层底部为地，相当于电容间隙为2μm， 做机电耦合分析。
梁受静电力，在z方向产生挠度。查看约束端支座反力，确定XYZ方向的静电力。
发现，法向静电力与理论相符，但是横向驱动力 量级一致，但是比理论值小几倍。
仿真值，Z方向，6.64e-08N ; X方向，1.2101e-10N

理论值，Z方向， 6.64e-08N ;X方向，8.8540e-10N

有谁知道啥问题吗？