Edge Filter

kyan2022

Design Tool中，EdgeFilter的功能是可以用来帮助设计边缘滤波器的结构。一个简单的边缘滤波器是基于四分之一堆栈的，在基板和入射介质旁边的几个匹配层可以用来抑制通带波纹。当倾斜时，高反射率区的宽度对S偏振光有增大的趋势，对P偏振光有减小的趋势，导致偏振分离。四分之一波长堆栈不容易得到显着改善，但是Thelen 已经表明五层对称周期是可以作为边缘滤波器的基础的，其中p和s偏振边缘可以重合。严格来说，这只是在一个入射角，但经验表明，在一定角度范围内分裂非常小。边缘滤波器工具可以找到这样一个对称的周期，并设计一个非偏振边缘滤波器。该工具使用迭代技术来识别所有可能的组合，并找到通带宽度和禁带宽度的最佳组合，但是后者受到一定限制。

图1显示了参数对话框。设置了两种材料的五层周期，入射角，入射介质和周期数。该工具没有解决纹波问题，如图2所示。在这里，用SiO2当最外层最好。最后一步是锁定所有层，然后对一些最外层进行优化以减少波纹。在这种特殊情况下，每侧的12个层都经过了优化，以得到图3中的性能。

图1.参数对话框，几乎没有必要更改搜索限制或搜索间隔

图2.纹波消除前45°入射的原始结果

图3.45°入射时最终的169层设计

该工具的另一个功能是将公式插入到了编辑菜单的Formula对话框中，这样就不必返回到Edge Filter对话框来更改重复次数。

图4.Formula对话框