新手用Ansys 作micro heater仿真

yanagi

刚刚起步，想在MEMS微系统中加入一个platinum micro heater 控制温度。可是不知如何入手，这个技术好像已经比较成熟了。本来想应该可以search到很多资料的，可是又找不到具体介绍的。人笨真是没办法呀。
高手们给指点一下，应该如何入手，需要用到那些软件。最好是能介绍个具体的例子。只是想模拟一下加电情况下的温度场变化和分布。
多谢了！！！