如何模拟micro heater通电下的温度场分布？

yanagi

本来发在ansys热分析版里，可是没人回。看看好像abaqus很强大的感觉。试着问问看这个问题用abaqus好不好解决。
问题是这样的， 想在MEMS微系统中加入一个platinum micro heater 控制温度。主要模拟通电后这个heater产生的温度场是怎样的。2d，3d都可以。可是不知如何入手，micro heater好像已经比较成熟了， 大家在fabrication之前都会做个simulation来看一下温度场。本来想应该可以search到很多资料的，可是又找不到具体介绍的。
高手们给指点一下，应该如何入手。最好是能介绍个具体的例子。只是想模拟一下加电情况下的温度场变化和分布。
多谢了！！！

yanagi

没人做过吗？只是模拟一下温度场分布，优化一下Heater的结构。

ztmachine

电流流过产生的焦耳热，热电耦合分析，可以看看Example Manual里面的相关例子