mems微结构的分析是否有特殊的的单元，跪求mems分析实例

lijinliang521 · 发表于 2008-4-4 15:28:38

mems分析有没有专门为硅微结构提供的单元，另外硅的杨氏模量怎么考虑，是不是三个方向设置不同的杨氏模量，恳请高手指点

lijinliang521 · 发表于 2008-4-4 15:45:54

pfsr · 发表于 2008-4-4 15:47:43

ＡＮＳＹＳ　ＨＥＬＰ中的ｔｕｔｏｒｉａｌ。或许有所帮助。

Chapter 6. Micro-Electromechanical System (MEMS) Tutorial

lijinliang521 · 发表于 2008-4-6 15:51:58

非常感谢！！

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