【讨论】用ansys对mems静电梳齿驱动器进行分析，为何最大变形与梳齿间距成反比？

cadabaqus

用ansys对mems静电梳齿驱动器进行分析，为何最大变形与梳齿间距成反比？

hfut_wafer

梳齿间距变小时，动齿和对应定齿的根部会产生新的电容，此时的梳齿所受静电力与位移之间不再是线性的了，会出现非线性效应，和pull-in效应很类似。不知道你的驱动器是横向工作还是垂直工作？