不知道comsol能不能算PVD，蒸发沉积啊

uriah

我想计算一个点源（可以设想为一个喷枪嘴），离点源一定距离有一块钢板，假设喷枪以一定流量kg/min，向外喷出金属，到达钢板后沉积到上面，形成薄膜。我想计算喷枪离钢板的距离改变对膜厚的影响，以及一定距离时，一定面积钢板上的厚度分布！整个气氛在真空中 。