3维静电力结构耦合问题

cdh840102

我是ansys新手，我的课题是静电泵，现在我要仿真薄膜在静电力的作用下变形的过程（以后还要仿真变形引起液体的泵射过程，但这个好难，希望有这方面经验的人能推荐些资料，有没有这方面的例子），我根据2维静电力-结构耦合的方法基础上想尝试耦合3维的，但结果提示没有单元（或许三维的跟二维的仿真过程完全不一样），我是用GUI来仿真的，现在把我的仿真过程换成命令流（可能转换的过程有些错误，但大概能看清楚）。
/prep7
Et,1,123
Et,2,123
Emunit,epzro,8.854e-6
Mp,perx,2,1
建模，上极板长150，宽10，厚2，下极板长90，宽10，厚1.5，两极板间距4.5（因为命令流不知道怎么写）
vovlap,all
vsel,s,volume,,1
aatt,1,,
vsel,s,volume,,4
cm,air,volume
aatt,2,,2
smrtsiz,2
vmesh,1
mshape,1,3d
vmesh,4
vsel,s,volum,,1
aslv,s
da,all,volt,150
vsel,s,volum,,2
aslv,s
da,all,volt,0
et,1,0
physics,write,electros
physics,clear
et,1,92
et,2,0
mp,ex,170e3
mp,nuxy,1,0.34
da,5,ux,0
da,5,uy,0
da,5,uz,0  为了方便，我只约束了一个面
allsel,all
finish
physics
essolve,’electros’,’structure’,2,0,’air’,,,,10
整个命令就这些，但不熟悉命令流，把GUI转换成，大概过程能看得清楚，请高手指点或推荐些静电力三维仿真的资料